靜電對電子工業(yè)危害分析

靜電對電子工業(yè)危害主要表現(xiàn)為以下三種方式：塵埃吸附、靜電放電和靜電感應。

(1)塵埃吸附

靜電對幾~幾十微米的塵埃吸附作用明顯。塵埃對微電子生產(chǎn)影響很大，在現(xiàn)代微電子生產(chǎn)中，芯片的線寬已達到0.1微米。一顆直徑幾微米塵埃吸附在芯片上，即可造成十幾根芯線間的絕緣強度降低，造成短路并使芯片損壞。

注: 1μm =0.001mm, 頭發(fā)直徑：75μm，

肉眼可見小黑點：40μm。

(2) 靜電放電 （ESD）

靜電放電可使集成電路芯片介質擊穿，芯線熔斷、漏電流增大而加速老化、電性能參數(shù)改變等。靜電放電對芯片損壞具有潛在性與和緩慢失效性，這種危害性更大。

(3) 靜電感應

靜電感應不但具有靜電放電的危害性，而且因其產(chǎn)生的寬頻帶干擾可對計算機和低電平數(shù)字電路發(fā)生翻轉效應或導致儀器（表）運行失常。

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