目前世界各國(guó)雖有自訂的潔凈室標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格，但普遍還是采用美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209為多，今就209D及209E和世界上其他各國(guó)之所訂標(biāo)準(zhǔn)再做更進(jìn)一步之介紹與相互比較。表1-1為美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209D之潔凈室規(guī)格。
表1-1 美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209D潔凈室規(guī)格
| 潔凈室級(jí)數(shù)（Class) | 微塵粒子 | 壓力 | 溫度 | 風(fēng)速與換氣率（次/hr) | 照度lux | ||||||
| 粒子大小um | 粒子數(shù)目Particles/ft3 | mmAg | 值域℃ | 推薦值℃ | 誤差值℃ | 大MAX% | 小MIN% | 誤差% | 層流方式0.35~0.55 m/s | 1080~
1620 |
|
| 1 | ≧0.5 | ≦1 | ＞1.3 | 19.4~25 | 22.2 | ±2.8特
殊 需 求 ±1.4 |
45 | 30 | ±10特
殊 需 求 |
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