? 這種方式一般是采用數(shù)臺大型新風處理機組和凈化循環(huán)機組集中設置在空調(diào)機房內(nèi)，空調(diào)機房可位于潔凈室凈化工程的側面或頂部經(jīng)過濕度、濕度處理和過濾后的空氣由離心風機或軸瀝風機加壓后通過風道送人送風靜壓箱，再經(jīng)由高教過濾器或超高放過濾鋁過濾后送人潔凈室凈化工程。回風經(jīng)格柵地板系統(tǒng)，流入回風靜壓箱再回到凈化循環(huán)系統(tǒng)，如此反復循環(huán)運行。
(1)隧道潔凈室凈化工程送風方式
這種送風方式一般把潔凈室凈化工程劃分為生產(chǎn)核心區(qū)、維護區(qū)，生產(chǎn)核心區(qū)要求商潔凈度和嚴格的溫、濕度控制，設在單向流送風區(qū)內(nèi)：維護區(qū)要求較低，設置生產(chǎn)輔助設備或無潔凈要求的生產(chǎn)設備的層部和配管配線犁，生產(chǎn)區(qū)為送風區(qū)，維護區(qū)為回風區(qū)，構成空氣循環(huán)系統(tǒng)。一般隧道式送風是由多臺循環(huán)空氣系統(tǒng)組成，所以其中一臺循環(huán)機組出現(xiàn)故障不會影響其他區(qū)域的生產(chǎn)環(huán)境桔凈度，并且各個循環(huán)系統(tǒng)可根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)需要進行分區(qū)調(diào)整控制。
(2) FFU 風機過濾單元送風方式
這是在潔凈室凈化工程助吊頂上安裝多臺風機過濾單元機組(Fan Filter unit，簡稱FFU)，構成凈化循環(huán)機組，不需要配置凈化循環(huán)空調(diào)機房，送風靜壓箱為負壓。空氣由FFU送到潔凈室凈化工程，從回風靜壓箱經(jīng)兩側夾道回至送風靜壓箱，根據(jù)潔凈室凈化工程的溫度調(diào)節(jié)需要，一放在回風夾道設干式表冷器。新風處理機可集中設在空調(diào)機房內(nèi)，處理后新風直接送人送風靜壓箱。因送風靜壓箱為負壓，有利于高效過濾器頂棚的密封；但由于FFU機組臺數(shù)較多，在滿布串較高時，一放投資較大，運行費用亦多．有的PFH噪聲較大，選用時需要注意。
(3)模塊式 FFU風機過濾單元 送風方式
它是由迭風機安裝在u四A或u12A之上，1臺送風機可配數(shù)臺高效過濾器的空氣循環(huán)系統(tǒng)，這種模塊式風機單元(FMModdeudt，簡稱FMu)循環(huán)系統(tǒng)是無風管道方式，空氣轄關速度較低，送風機和過濾器維修較方便，能量消耗較少。
(4)開放式潔凈室凈化工程的送風方式
這種方式是為了確保日益要求生產(chǎn)環(huán)境極為嚴格的半導體芯片生產(chǎn)的關鍵工序或設備的微環(huán)境控制達到高潔凈度等級，而其周圍的開放式大面積潔凈環(huán)境僅保持在相對較差的潔凈度等級，微環(huán)境內(nèi)控制沽凈度嚴格的單向流潔凈環(huán)境，而開放式潔凈室凈化工程為單向流或泄合流 潔凈室 凈化工程。這種方式的能量消耗較少，工藝布置靈活性好．建設投資和運行費用都可以降低。

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