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微電子半導(dǎo)體無(wú)塵室管理規(guī)范-進(jìn)入無(wú)塵室須知

2025-12-19

微電子半導(dǎo)體無(wú)塵室管理規(guī)范-進(jìn)入無(wú)塵室須知

一、無(wú)塵室須知

1.?進(jìn)入無(wú)塵室前,必須知會(huì)管理人,并通過(guò)基本訓(xùn)練。

2.?進(jìn)入無(wú)塵室嚴(yán)禁吸煙,吃(飲)食,外來(lái)雜物(如報(bào)章,雜誌,鉛筆…等)不可攜入,并嚴(yán)禁嘻鬧奔跑及團(tuán)聚談天。

3.?進(jìn)入無(wú)塵室前,需在規(guī)定之處所脫鞋,將鞋置於鞋柜內(nèi),外衣置於衣柜內(nèi),私人物品置於私人柜內(nèi),柜內(nèi)不可放置食物。

4.?進(jìn)入無(wú)塵室須先在更衣室,將口罩,無(wú)塵帽,無(wú)塵衣以及鞋套按規(guī)定依程序穿戴整齊,再經(jīng)風(fēng)淋室洗塵,并踩踏除塵地毯(洗塵室地板上)方得進(jìn)入。

5.?戴口罩時(shí),應(yīng)將口罩戴在鼻子之上,以將口鼻孔蓋住為原則,以免呼吸時(shí)污染晶片。

6.?穿著無(wú)塵衣,無(wú)塵帽前應(yīng)先整理服裝以及頭髮?zhuān)悦庵蠠o(wú)塵衣后,不得整理又感不適。

7.?整肅儀容后,先戴無(wú)塵帽,無(wú)塵帽的穿戴原則系:

(1)頭髮必須完全覆蓋在帽內(nèi),不得外露。

(2)無(wú)塵帽之下擺要平散於兩肩之上,穿上工作衣后,方不致下擺脫出,裸露肩頸部。

8.?無(wú)塵帽戴妥后,再著無(wú)塵衣,無(wú)塵衣應(yīng)尺吋合宜,才不致有褲管或衣袖太短而裸露皮膚之虞,穿衣時(shí)應(yīng)注意帽之下擺應(yīng)保平整之狀態(tài),無(wú)塵衣不可反穿。

9.?穿著無(wú)塵衣后,才著鞋套,拉上鞋套并將鞋套整平,確實(shí)蓋在褲管之上。

10.?戴手套時(shí)應(yīng)避免以光手碰觸手套之手掌及指尖處(防止鈉離子污染),戴上手套后,應(yīng)將手套之手腕置於衣袖內(nèi),以隔絕污染源。

11.?無(wú)塵衣著妥后,經(jīng)洗塵,并踩踏除塵毯,方得進(jìn)入無(wú)塵室。

12.?不論進(jìn)入或離開(kāi)無(wú)塵室,須按規(guī)定在更衣室脫無(wú)塵衣,不可在其它區(qū)域?yàn)橹炔豢稍跓o(wú)塵室內(nèi)邊走邊脫。

13.?無(wú)塵衣,鞋套等,應(yīng)定期清洗,有破損,脫線(xiàn)時(shí)