傳遞窗及周轉(zhuǎn)車使用注意事項

???? 當(dāng)硅片要經(jīng)過傳遞窗傳送時，確保傳遞窗另一邊已關(guān)閉。將片盒從傳遞窗取出或放入后應(yīng)迅速關(guān)閉傳遞窗，并注意將傳遞窗上的扣鎖扣緊。

???? 傳遞窗不使用時保持密封關(guān)閉。除片盒和跟蹤單以外的任何物品不允許通過傳遞窗來傳遞。

???? 工藝停止運行如換石英管或設(shè)備出故障時，周轉(zhuǎn)車的門要關(guān)閉。

???? 每班在工作的時間內(nèi)，至少用IPA擦洗1次周轉(zhuǎn)車，使其放片盒處保持潔凈無灰塵。

???? 雙手須戴潔凈、無汗跡的乳膠手套。

???? 缷下的硅片裝滿承載盒后及時蓋上盒蓋。

???? 每班班前換干凈的真空吸筆。

???? 六排電池片每一排都要抽檢一片電池片，如發(fā)現(xiàn)嚴重色差片，要及時挑出，并且要全部檢查這一框電池片。

???? 石墨框上不能有碎片等雜物（標(biāo)記片除外）。

???? 進料臺、出料臺處的片盒、承載盒以及記錄本等物品擺放要整齊。

???? 設(shè)備蓋板上保持整潔，無明顯的灰塵、雜物。

???? 地面保持干凈整潔，無碎片、SiN顆粒等雜物。

???? 下班前30分鐘打掃進料臺、出料臺處及設(shè)備周圍的的衛(wèi)生。

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