潔凈室熱蒸鍍機(jī)使用操作方法
A.開機(jī)步驟
1.?開機(jī)器背面的總電源開關(guān)。
2.?開冷卻水,需先啟動D.I Water?系統(tǒng)。
3.?開RP,熱機(jī)2分鐘。
4.?開三向閥切至F.V的位置,等2分鐘。
5.?開DP,熱機(jī)30分鐘(熱機(jī)同時(shí)即可進(jìn)行Sample?之清洗與裝載,以節(jié)省時(shí)間)。
B.裝載
1.?開Vent,進(jìn)氣之后立刻關(guān)閉。
2.?開Chamber。
3.? Loading Sample、Boat及金屬。
4.?以Shutter擋住Sample。
5.?關(guān)Chamber,關(guān)門時(shí)務(wù)必注意門是否密合,因機(jī)器年久失修,通常須用手壓緊門的右上角。
C.抽真空
1.?初抽
(1)?三向閥切至R.V位置(