空氣過(guò)濾器典型使用場(chǎng)所分析

1?芯片廠

當(dāng)今，半導(dǎo)體芯片廠對(duì)生產(chǎn)環(huán)境空氣潔凈程度挑剔，對(duì)空氣過(guò)濾器的要求也苛

刻。粘在芯片上的粉塵可能造成斷路、短路而直接影響成品率。

芯片廠用的高效過(guò)濾器和風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元（FFU）出廠前要經(jīng)過(guò)掃描測(cè)試。芯片廠不認(rèn)鈉焰法和DOP法的帳。芯片廠特別在意過(guò)濾器上可能的微量揮發(fā)元素。近幾年出現(xiàn)了聚四氟乙烯PTFE纖維高效過(guò)濾材料，這種材料沒(méi)有揮發(fā)物，但它帶靜電，過(guò)濾后的空氣要進(jìn)行電中和以消除離子，少了個(gè)隱患，多了個(gè)麻煩。

但當(dāng)芯片的線寬小到0.5um時(shí)，人們發(fā)現(xiàn)空氣中的化學(xué)污染物成了影響成品率的主要危害，于是，后建的芯廠空調(diào)系統(tǒng)中普遍配置了化學(xué)過(guò)濾器。芯片廠說(shuō)的化學(xué)過(guò)濾器就是活性炭過(guò)濾器，它的原理和制造工藝并不復(fù)雜。許多情況下，設(shè)計(jì)師和現(xiàn)場(chǎng)人員也說(shuō)不清污染物的種類和濃度，因此，芯片廠用的化學(xué)過(guò)濾器應(yīng)具有兩個(gè)特點(diǎn)：廣譜吸附性能、足夠多的吸附材料。如果能確定污染物種類，就可對(duì)吸附材料進(jìn)行有針對(duì)性的化學(xué)處理，以增強(qiáng)對(duì)特定污染物的吸附能力。過(guò)濾器供應(yīng)商有時(shí)還要提供相應(yīng)的現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)服務(wù)，以幫助用戶確定化學(xué)過(guò)濾器的使用情況，這就要求供應(yīng)商中有搞化學(xué)過(guò)濾的專家，并與權(quán)威實(shí)驗(yàn)室有密切的關(guān)系。

半導(dǎo)體工業(yè)并非“無(wú)煙工業(yè)”，它也有環(huán)境問(wèn)題。為降低環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)，有些芯片廠的排風(fēng)系統(tǒng)也裝有化學(xué)過(guò)濾器。

　　2?機(jī)場(chǎng)空調(diào)系統(tǒng)

飛機(jī)場(chǎng)是賓客對(duì)城市的第一印象，機(jī)場(chǎng)空調(diào)系統(tǒng)表明主人的實(shí)力和空調(diào)設(shè)計(jì)師的水

平。在發(fā)達(dá)大型機(jī)場(chǎng)的空調(diào)系統(tǒng)中，空氣過(guò)濾器常見(jiàn)配置為：

G4～F6預(yù)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→F7末端過(guò)濾器

F7過(guò)濾器（Ashhae Dust-spot 85%）是上檔次的公共場(chǎng)所中常見(jiàn)過(guò)濾器。經(jīng)過(guò)F7過(guò)濾器后，空氣含塵濃度可以達(dá)到旅游景區(qū)的水平。標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定候機(jī)廳可吸入顆粒物的濃度上限為0.15mg/m3，這是從衛(wèi)生角度考慮的低要求，機(jī)場(chǎng)室外空氣也比這個(gè)濃度低．設(shè)計(jì)中，機(jī)場(chǎng)空調(diào)考慮的是檔次，而不僅僅是衛(wèi)生．