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微電子半導體無塵室管理規(guī)范-進入無塵室須知微電子半導體無塵室管理規(guī)范-進入無塵室須知 一、無塵室須知 1.?進入無塵室前，必須知會管理人，并通過基本訓練。 2.?進入無塵室嚴禁吸煙，吃(飲)食，外來雜物...192025/12
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半導體無塵室操作使用須知半導體無塵室操作使用須知 處理晶片時，必須戴上無纖維手套，使用清洗過的乾凈鑷子挾持晶片，請勿以手指或其他任何東西接觸晶片，遭碰觸污染過的晶片須經(jīng)清洗，方得繼續(xù)使...192025/12
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潔凈室純水系統(tǒng)使用操作方法潔凈室純水系統(tǒng)使用操作方法 1.????閥門控制 (1)???閥門(VALVE)V1、V2、V3、V4、V6、V8、V10、V12、V13、V14、V16、V1...192025/12
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潔凈室熱蒸鍍機使用操作方法潔凈室熱蒸鍍機使用操作方法 A.開機步驟 1.?開機器背面的總電源開關。 2.?開冷卻水，需先啟動D.I Water?系統(tǒng)。 3.?開RP，熱機2分鐘。 4.?...192025/12
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潔凈室氧化爐管使用操作方法潔凈室氧化爐管使用操作方法 一般潔凈室所採用之氧化爐管為Lenton LTF 1200水平管狀式爐子，可放2英吋硅晶圓，加熱區(qū)大於50cm，高溫度可達1200?...192025/12
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半導體無塵室黃光區(qū)操作及鑷子使用須知半導體無塵室黃光區(qū)操作及鑷子使用須知 1.?濕度及溫度會影響對準工作，在黃光區(qū)應注意溫度及濕度，并應減少對準機附近的人，以減少濕、溫度的變化。 2.?上妥光阻尚...192025/12
