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潔凈室純水系統(tǒng)使用操作方法潔凈室純水系統(tǒng)使用操作方法 1.????閥門控制 (1)???閥門(VALVE)V1、V2、V3、V4、V6、V8、V10、V12、V13、V14、V16、V1...192025/12
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潔凈室光罩對對準機使用操作方法潔凈室光罩對對準機使用操作方法 曝光機簡介 在半導體製程中，涂佈光阻后的晶片，須經(jīng)UV紫外光照射曝光顯影，此臺曝光機為OAI 200系列，整合光罩對準、UV紫外...192025/12
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潔凈室熱蒸鍍機使用操作方法潔凈室熱蒸鍍機使用操作方法 A.開機步驟 1.?開機器背面的總電源開關。 2.?開冷卻水，需先啟動D.I Water?系統(tǒng)。 3.?開RP，熱機2分鐘。 4.?...192025/12
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潔凈室氧化爐管使用操作方法潔凈室氧化爐管使用操作方法 一般潔凈室所採用之氧化爐管為Lenton LTF 1200水平管狀式爐子，可放2英吋硅晶圓，加熱區(qū)大於50cm，高溫度可達1200?...192025/12
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半導體無塵室黃光區(qū)操作及鑷子使用須知半導體無塵室黃光區(qū)操作及鑷子使用須知 1.?濕度及溫度會影響對準工作，在黃光區(qū)應注意溫度及濕度，并應減少對準機附近的人，以減少濕、溫度的變化。 2.?上妥光阻尚...192025/12
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無塵車間使用化學藥品使用須知無塵車間使用化學藥品使用須知 1.?化學藥品的進出須登記，并知會管理人，并附上物質(zhì)安全資料表（MSDS）於實驗室門口。 2.?使用化學藥品前，請詳讀物質(zhì)安全資料...192025/12
